Flexure-beam micromirror devices and potential expansion for smart micromachining

被引：1

作者：

Lin, TH ^{[1
]}

机构：

[1] TEXAS INSTRUMENTS INC,DALLAS,TX 75265

来源：

SMART STRUCTURES AND MATERIALS 1996: SMART ELECTRONICS AND MEMS | 1996年 / 2722卷

关键词：

micromirror; smart micromachining; integrated circuits; flexure beam; interferometric optics; MEMS; spatial light modulator;

D O I：

10.1117/12.240456

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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