New insights on percolation theory and the origin of oxide breakdown thickness and process deposition dependence

被引：3

作者：

Ribes, G.

Rafik, M.

Barge, D.

Kalpat, S.

Denais, M.

Huard, V.

Roy, D.

机构：

来源：

2007 IEEE INTERNATIONAL RELIABILITY PHYSICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS - 45TH ANNUAL | 2007年

关键词：

breakdown; hydrogen; ultra-thin oxide;

D O I：

10.1109/RELPHY.2007.369959

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：2