Development and characterization of micro-mechanical gratings for optical modulation

被引：15

作者：

Sene, DE ^{[1
]}

Grantham, JW ^{[1
]}

Bright, VM ^{[1
]}

Comtois, JH ^{[1
]}

机构：

[1] USAF,INST TECHNOL,DEPT ELECT & COMP ENGN,WRIGHT PATTERSON AFB,OH 45433

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493984

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：222 / 227

页数：6