共 1 条
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Moore MC, 2004, NUCL INSTRUM METH B, V225, P241, DOI [10.1016/j.nimb.2004.04.175, 10.1016/j.nimb.2004.09.007]
Structural and sputtering effects of medium energy ion bombardment of silicon (vol 225, pg 241, 2004)
被引：19
作者：
Moore, MC
Kalyanasundaram, N
Freund, JB
Johnson, HT
机构：
[1] Univ Illinois, Dept Mech & Ind Engn, Urbana, IL 61801 USA
[2] Univ Illinois, Dept Theoret & Appl Mech, Urbana, IL 61801 USA
来源：
关键词：
D O I：
10.1016/j.nimb.2004.09.007
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
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页码：705 / 706
页数：2
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