Special Issue: Micro- and Nano-Fabrication Preface

被引：0

作者：

Brueckl, Hubert ^{[1
]}

Muehlberger, Michael ^{[2
]}

机构：

[1] Danube Univ Krems, Ctr Integrated Sensor Syst, Viktor Kaplan Str 2 E, A-2700 Wiener Neustadt, Austria

[2] PROFACTOR GmbH, Funct Surfaces & Nanostruct, Stadtgut A2, A-4407 Steyr Gleink, Austria

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/j.mee.2017.04.012

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页数：1