Micro-optics for sensor applications

被引：5

作者：

Nussbaum, P ^{[1
]}

Volkel, R ^{[1
]}

Herzig, HP ^{[1
]}

Dandliker, R ^{[1
]}

机构：

[1] INST MICROTECHNOL,CH-2000 NEUCHATEL,SWITZERLAND

来源：

MICRO-OPTICAL TECHNOLOGIES FOR MEASUREMENT, SENSORS, AND MICROSYSTEMS | 1996年 / 2783卷

关键词：

microlens arrays micro-optic; microsystems; sensors; lithography; optical computing;

D O I：

10.1117/12.248510

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：9