Compact optical delay line based on scanning surface micromachined polysilicon mirrors

被引:1
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作者
Cornett, KT [1 ]
Heritage, JP [1 ]
Solgaard, O [1 ]
机构
[1] Univ Calif Davis, Dept Elect & Comp Engn, Davis, CA 95616 USA
关键词
D O I
10.1109/OMEMS.2000.879605
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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