Surface-wave sustained plasmas: Toward a better understanding of RF and microwave discharges

被引：0

作者：

Moisan, M ^{[1
]}

Ferreira, CM ^{[1
]}

Hubert, J ^{[1
]}

Margot, J ^{[1
]}

Zakrzewski, Z ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV MONTREAL,GRP PHYS PLASMAS,MONTREAL,PQ H3C 3J7,CANADA

来源：

PHENOMENA IN IONIZED GASES | 1996年 / 363期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O35 [流体力学]; O53 [等离子体物理学];

学科分类号：

070204 ; 080103 ; 080704 ;

摘要：

引用

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