Uncooled infrared sensor with digital focal plane array

被引：33

作者：

Marshall, C ^{[1
]}

Butler, N ^{[1
]}

Blackwell, R ^{[1
]}

Murphy, R ^{[1
]}

Breen, T ^{[1
]}

机构：

[1] LOCAL INFRARED & IMAGING SYST,LEXINGTON,MA 02173

来源：

INFRARED DETECTORS AND FOCAL PLANE ARRAYS IV | 1996年 / 2746卷

关键词：

microbolometer; uncooled; infrared; micromachining; imaging;

D O I：

10.1117/12.243059

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：23 / 31

页数：9