A virtual prototype manufacturing software system for MEMS

被引：5

作者：

He, Y ^{[1
]}

Harris, R ^{[1
]}

Napadenski, G ^{[1
]}

Maseeh, F ^{[1
]}

机构：

[1] INTELLISENSE CORP,WILMINGTON,MA 01887

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493840

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：5