Material witness - Silicon still supreme

被引:15
作者
Ball, P
机构
关键词
D O I
10.1038/nmat1330
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
[No abstract available]
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共 1 条
[1]   Siticon device scaling to the sub-10-nm regime [J].
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SCIENCE, 2004, 306 (5704) :2057-2060