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A high-order spline filter for surface roughness measurement
被引：0
作者：
Numada, Munetoshi
Nomura, Takashi
Yanagi, Kazuhisa
Kamiya, Kazuhide
Tashiro, Hatsuzo
机构：
来源：
Towards Synthesis of Micro - /Nano - Systems
|
2007年
/
05期
关键词：
roughness;
low-pass filter;
spline filter;
smoothing spline;
transmission characteristic;
D O I：
10.1007/1-84628-559-3_64
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：335 / 336
页数：2
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