Design of nanoporous polyarylene polymers for use as low-K dielectrics in microelectronic devices.

被引：0

作者：

Silvis, HC

Hahnfeld, JL

Niu, QJ

Radler, MJ

Godschalx, JP

Stokich, TM

Lyons, JW

Kalantar, TH

Hefner, RE

Yontz, DJ

Landes, BG

Ouellette, KB

Kern, BJ

Marshall, JG

Bouck, KJ

Syverud, K

Leff, MB

Bruza, KJ

机构：

[1] Dow Chem Co USA, Corp Res & Dev, Midland, MI 48674 USA

[2] Dow Chem Co USA, Adv Elect Mat, Midland, MI 48674 USA

来源：

ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 2002年 / 224卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

114-PMSE

引用

页码：U506 / U506

页数：1