Design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS, 2005

被引：0

作者：

Courtois, Bernard

Michel, Bernd

机构：

[1] CMP, TIMA, F-38031 Grenoble, France

[2] Fraunhofer IZM, D-13355 Berlin, Germany

来源：

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS | 2006年 / 12卷 / 10-11期

关键词：

Microstructure; Mechanical Engineer; Power Generator; Integrate Process; Design Tool;

D O I：

10.1007/s00542-006-0114-2

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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