Application of specific MEMS/NEMS packaging - Introduction

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机构：

来源：

ELECTRONIC AND PHOTONIC PACKAGING, ELECTRICAL SYSTEMS AND PHOTONIC DESIGN AND NANOTECHNOLOGY - 2003 | 2003年

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

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