Micro process engineering a promotion focus of the Federal German Ministry of Education and Research within the framework of the micro system technology programme

被引：3

作者：

Ackermann, U ^{[1
]}

机构：

[1] VDI VDEIT, D-14513 Teltow, Germany

来源：

CHEMIE INGENIEUR TECHNIK | 2004年 / 76卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1002/cite.200403410

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

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页码：508 / 511

页数：4

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