Polymer materials and processing methods for environmentally friendly semiconductor manufacturing.

被引：0

作者：

Pham, VQ

Felix, N

Jakubek, V

Mao, Y

Gleason, KK

Ober, CK

机构：

[1] Cornell Univ, Sch Chem & Biomol Engn, Ithaca, NY 14853 USA

[2] Cornell Univ, Dept Mat Sci & Engn, Ithaca, NY 14853 USA

[3] MIT, Dept Chem Engn, Cambridge, MA 02139 USA

来源：

ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 2004年 / 227卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

560-POLY

引用

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页数：1