Electrical characteristics of inductively coupled plasma using single langmuir probe

被引：0

作者：

Choi, YS

Lee, YH

Park, CS

Hwang, MK

Park, DH

机构：

[1] Wonkwang Univ, Iksan 570749, South Korea

[2] Korea Inst Lighting Technol, Seoul 121220, South Korea

来源：

LIGHT SOURCES 2004 | 2004年 / 182期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：255 / 256

页数：2

共 4 条

[1]

CHU JH, 2000, T KIEE C, V49, P609

[2]

KIM YC, 1996, J KOREAN PHYS SOC, V39, P157

[3] Analysis of pulse-time modulated high-density discharges [J].

Meyyappan, M .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1996, 14 (04) :2122-2126

SAMUKAWA, SJ .