Changes in elastic deformation of strained si by microfabrication (vol 8, pg 181, 2005)

被引：1

作者：

Arimoto, K

Furukawa, D

Yamanaka, J

Nakagawa, K

Sawano, K

Koh, S

Shiraki, Y

Usami, N

机构：

[1] Univ Yamanashi, Ctr Crystal Sci & Technol, Yamanashi 4008511, Japan

[2] Univ Tokyo, Dept Appl Phys, Bunkyo Ku, Tokyo 1138656, Japan

[3] Tohoku Univ, Inst Mat Res, Aoba Ku, Sendai, Miyagi 9808577, Japan

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/j.mssp.2006.04.002

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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