Experiment of soft X-ray lithography using a repetitively laser-produced plasma source

被引：0
作者：
Guo, YB
机构：
来源：
CHINESE SCIENCE BULLETIN | 1996年 / 41卷 / 24期
关键词：
laser-produced plasma; soft X-ray lithography; resist;
D O I：
暂无
中图分类号：
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号：
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要：
引用
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页码：2047 / 2049
页数：3
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共 3 条
[1]  
HOFFMAN AL, 1985, P SOC PHOTO-OPT INST, V537, P198, DOI 10.1117/12.947502
[2]  
MAOLIAN L, 1986, ACTA OPT SINICA, V6, P493
[3]  
TOUBHANS I, 1989, P SOC PHOTO-OPT INS, V1140, P358, DOI 10.1117/12.961845
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