Grazing-incidence small-angle X-ray scattering (GISAXS) on small periodic targets using large beams (vol 4, pg 431, 2017)

被引：4

作者：

Pflueger, Mika ^{[1
]}

Soltwisch, Victor ^{[1
]}

Probst, Juergen ^{[2
]}

Scholze, Frank ^{[1
]}

Krumrey, Michael ^{[1
]}

机构：

[1] Phys Tech Bundesanstalt, Abbestr 2-12, D-10587 Berlin, Germany

[2] Helmholtz Zentrum Berlin, Albert Einstein Str 15, D-12489 Berlin, Germany

来源：

IUCRJ | 2018年 / 5卷

关键词：

grazing-incidence small-angle; X-ray scattering; GISAXS; beam footprint; lithographic inspection; gratings;

D O I：

10.1107/S2052252518008497

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

引用

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