Delamination and buckling induced by compressive strain in metal thin films

被引：2

作者：

Shen, YG ^{[1
]}

机构：

[1] City Univ Hong Kong, Dept MEEM, Kowloon, Hong Kong, Peoples R China

来源：

RESIDUAL STRESSES VII, PROCEEDINGS | 2005年 / 490-491卷

关键词：

buckling; delamination; reactive magnetron sputtering; stress; metal thin films;

D O I：

10.4028/www.scientific.net/MSF.490-491.655

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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