Ion beam induced epitaxial recrystallization of alumina thin films deposited on sapphire (Reprinted from Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, vol 106, pg 579-582, 1995)

被引:0
作者
Yu, N [1 ]
Nastasi, M [1 ]
机构
[1] LOS ALAMOS NATL LAB,DIV MAT SCI & TECHNOL,LOS ALAMOS,NM 87545
来源
ION BEAM MODIFICATION OF MATERIALS | 1996年
关键词
D O I
暂无
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:579 / 582
页数:4
相关论文
empty
未找到相关数据