Emission stability of a FEA observed by an emission microscope

被引：0

作者：

Miyamoto, N ^{[1
]}

Yamane, K ^{[1
]}

Nakane, H ^{[1
]}

Adachi, H ^{[1
]}

机构：

[1] Muroran Inst Technol, Dept Elect & Elect Engn, Muroran, Hokkaido 0508585, Japan

来源：

IVMC 2000: PROCEEDINGS OF THE 14TH INTERNATIONAL VACUUM MICROELECTRONICES CONFERENCE | 2001年

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页数：2