Characterizing microroughness and haze on silicon wafers

被引：0

作者：

Bullis, WM

机构：

[1] R and D at Siltec Silicon

[2] Electron Devices Division, National Board of Standards

[3] Miami University

[4] MIT

[5] Electrochemical Society

[6] American Physics Society, IEEE

[7] ASTM's Committee F-1 on Electronics

[8] SEMI's Intl. Standards Committee

来源：

MICRO | 1996年 / 14卷 / 01期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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