Diffractive optical elements for manipulation of high power CO2 laser radiation - A feasibility study

被引：4

作者：

Tyrer, JR ^{[1
]}

Noden, SC ^{[1
]}

Hilton, PA ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV LOUGHBOROUGH,ENGN DESIGN INST,LOUGHBOROUGH LE11 3TU,LEICS,ENGLAND

来源：

HIGH-POWER LASERS: APPLICATIONS AND EMERGING APPLICATIONS | 1996年 / 2789卷

关键词：

diffractive optics; materials processing; surface engineering; CO2; laser; kinoform; photolithography;

D O I：

10.1117/12.251176

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：174 / 185

页数：12