Fabrication of micro mechanical and optical components by ultra-precision cutting

被引：0

作者：

Yamagata, Y ^{[1
]}

Higuchi, T ^{[1
]}

Takashima, Y ^{[1
]}

Ueda, K ^{[1
]}

机构：

[1] KANAGAWA ACAD SCI & TECHNOL,HIGUCHI PROJECT,TAKATSU KU,KAWASAKI,KANAGAWA 213,JAPAN

来源：

MICROELECTRONIC STRUCTURES AND MEMS FOR OPTICAL PROCESSING II | 1996年 / 2881卷

关键词：

Precision cutting; micro fabrication; micro machine; holographic optical element; ultra precision machine tool;

D O I：

暂无

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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