Transverse mode electrostatic microactuator for MEMS-based HDD slider

被引：23

作者：

Imamura, T ^{[1
]}

Koshikawa, T ^{[1
]}

Katayama, M ^{[1
]}

机构：

[1] FUJITSU LTD,FILE MEMORY LAB,ATSUGI,KANAGAWA 24301,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493983

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：216 / 221

页数：6