Compact imprint system using driving power of stepping motor

被引：1

作者：

Igaku, Y ^{[1
]}

Matsui, S ^{[1
]}

Ishigaki, H ^{[1
]}

Hiroshima, H ^{[1
]}

Komuro, M ^{[1
]}

Yamanaka, S ^{[1
]}

Nagamura, T ^{[1
]}

机构：

[1] Himeji Inst Technol, Himeji, Hyogo 67122, Japan

来源：

MICROPROCESSES AND NANOTECHNOLOGY 2000, DIGEST OF PAPERS | 2000年

关键词：

D O I：

10.1109/IMNC.2000.872697

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页数：2