Polymer chemistry history: The development of modern photoresists

被引：0

作者：

Allen, Robert ^{[1
]}

机构：

[1] IBM Almaden Res Ctr, Mat Innovat, San Jose, CA USA

来源：

ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 2018年 / 256卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

594-POLY

引用

页数：3