Plasma chemical vapor deposition of diamond films

被引:0
作者
Bachmann, PK
机构
来源
PHYSICS OF DIAMOND | 1997年 / 135卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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页码:45 / 71
页数:27
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