Ultrahigh vacuum scanning electron/tunneling combined microscope system

被引：0

作者：

Homma, Y ^{[1
]}

Finnie, P ^{[1
]}

Ogino, T ^{[1
]}

机构：

[1] NTT, Basic Res Labs, Kanagawa 2430198, Japan

来源：

MICROBEAM ANALYSIS 2000, PROCEEDINGS | 2000年 / 165期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

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页码：375 / 376

页数：2

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共 1 条

[1] Secondary electron imaging of nucleation and growth of semiconductors for nanostructure fabrication [J].

Homma, Y .

THIN SOLID FILMS, 1998, 332 (1-2) :262-266