High-Precision Motion Control Techniques

被引：152

作者：

Iwasaki, Makoto ^{[1
,2
,3
]}

Seki, Kenta ^{[4
]}

Maeda, Yoshihiro ^{[5
]}

机构：

[1] Tech Univ Munich, D-8000 Munich, Germany

[2] Tech Univ Chemnitz, Chemnitz, Germany

[3] Nagoya Inst Technol, Dept Elect & Comp Engn, Nagoya, Aichi, Japan

[4] Mech Engn Res Lab, Hitachi, Ibaraki, Japan

[5] Nagoya Inst Technol, Dept Comp Sci & Engn, Nagoya, Aichi, Japan

来源：

关键词：

VIBRATION SUPPRESSION; POSITIONING CONTROL; TRACKING; COMPENSATION; DESIGN; SYSTEM; PERFORMANCE; FAULT;

D O I：

10.1109/MIE.2012.2182859

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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