Environmental noise control for semiconductor manufacturing facilities

被引：0

作者：

Gendreau, M ^{[1
]}

Wu, M ^{[1
]}

机构：

[1] Colin Gordon & Associates, San Mateo, CA 94402 USA

来源：

INTER-NOISE 99: PROCEEDINGS OF THE 1999 INTERNATIONAL CONGRESS ON NOISE CONTROL ENGINEERING, VOLS 1-3 | 1999年

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O42 [声学];

学科分类号：

070206 ; 082403 ;

摘要：

引用

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页数：4