The physical properties of Al-doped zinc oxide films prepared by RF magnetron sputtering (vol 305, pg 201, 1997)

被引：1

作者：

Park, KC

Ma, DY

Kim, KH ^{[1
]}

机构：

[1] Gyeongsang Natl Univ, Dept Elect Mat Engn, Chinju 660701, South Korea

[2] Gyeongsang Natl Univ, Res Ctr Aircraft Parts Technol, Chinju 660701, South Korea

[3] Gyeongsang Natl Univ, Dept Phys, Chinju 660701, South Korea

[4] Gyeongsang Natl Univ, Res Inst Nat Sci, Chinju 660701, South Korea

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/S0040-6090(98)00826-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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