Characterization of Micro/Nano Electro-Mechanical Systems (MEMS/NEMS)

被引：0

作者：

Higo, Y ^{[1
]}

机构：

[1] Tokyo Inst Technol, Precis & Intelligence Lab, Tokyo, Japan

来源：

关键词：

All Open Access; Bronze;

D O I：

10.1111/j.1460-2695.2005.00933.x

中图分类号：

TH [机械、仪表工业];

学科分类号：

0802 ;

摘要：

引用

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