Real-time optical diagnostics for epitaxial growth

被引：1

作者：

Aspnes, DE ^{[1
]}

Kamiya, I ^{[1
]}

机构：

[1] N CAROLINA STATE UNIV,DEPT PHYS,RALEIGH,NC 27695

来源：

SECOND IBEROAMERICAN MEETING ON OPTICS | 1996年 / 2730卷

关键词：

D O I：

10.1117/12.231087

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页码：306 / 322

页数：17

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