A novel high-speed quasi-SOI power MOSFET with suppressed parasitic bipolar effect fabricated by reversed silicon wafer direct bonding

被引:7
作者
Matsumoto, S
Yachi, T
Horie, H
Arimoto, Y
机构
来源
IEDM - INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, TECHNICAL DIGEST 1996 | 1996年
关键词
D O I
10.1109/IEDM.1996.554139
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:949 / 951
页数:3
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