Guest Editorial Special Section on the Advanced Semiconductor Manufacturing Conference

被引：0

作者：

Eisenbraun, Eric ^{[1
]}

Kahlen, Franz-Josef ^{[2
]}

Werbaneth, Paul ^{[3
]}

Pandit, Viraj ^{[4
]}

机构：

[1] SUNY Albany, Coll Nanoscale Sci & Engn, Albany, NY 12203 USA

[2] Univ Cape Town, Dept Mech Engn, ZA-7925 Cape Town, South Africa

[3] Tegal Corp, Petaluma, CA 94954 USA

[4] Novellus Syst Inc, San Jose, CA 95134 USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TSM.2011.2123230

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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