Characterization of materials and devices by near-field scanning optical microscopy

被引：0

作者：

Goldberg, BB ^{[1
]}

Ghaemi, HF ^{[1
]}

Unlu, MS ^{[1
]}

Herzog, WD ^{[1
]}

机构：

[1] BOSTON UNIV,DEPT PHYS,BOSTON,MA 02215

来源：

DIAGNOSTIC TECHNIQUES FOR SEMICONDUCTOR MATERIALS PROCESSING II | 1996年 / 406卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：12