A 1.5V supplied, CMOS asic for the actuation of an electrostatic micromotor

被引：6

作者：

Favrat, P ^{[1
]}

Paratte, L ^{[1
]}

Ballan, H ^{[1
]}

Declercq, M ^{[1
]}

deRooij, NF ^{[1
]}

机构：

[1] ECOLE POLYTECH FED LAUSANNE,SWISS FED INST TECHNOL,ELECT LAB EL LEG ECUBLENS,CH-1015 LAUSANNE,SWITZERLAND

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493824

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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