alpha(6H)-SiC pressure sensors for high temperature applications

被引：25

作者：

Okojie, RS ^{[1
]}

Ned, AA ^{[1
]}

Kurtz, AD ^{[1
]}

Carr, WN ^{[1
]}

机构：

[1] KULITE SEMICOND PROD,LEONIA,NJ 07605

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493844

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：146 / 149

页数：4