Optical and probe diagnostics of RF discharges

被引：0

作者：

Kapicka, V ^{[1
]}

Sicha, M ^{[1
]}

Brablec, A ^{[1
]}

机构：

[1] MASARYK UNIV,FAC SCI,DEPT PHYS ELECTR,CR-61137 BRNO,CZECH REPUBLIC

来源：

PHENOMENA IN IONIZED GASES | 1996年 / 363期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O35 [流体力学]; O53 [等离子体物理学];

学科分类号：

070204 ; 080103 ; 080704 ;

摘要：

引用

页码：363 / 372

页数：10