Heterodyne interferometry with surface selectivity and fast response

被引：0

作者：

Zhang, JJ ^{[1
]}

机构：

[1] LEOTEC CORP,BEIJING 102200,PEOPLES R CHINA

来源：

AUTOMATED OPTICAL INSPECTION FOR INDUSTRY | 1996年 / 2899卷

关键词：

interferometry; interferometer; heterodyne; surface selectivity; laser diode; inspection;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页数：11