Optimized Sample Preparation for the Imaging of Silicon Defects using Plan View Transmission Electron Microscopy

被引：0

作者：

Wang, Nathan ^{[1
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Myers, Alline ^{[1
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Sidorov, Max ^{[1
]}

Koo, Heather ^{[1
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Yuan, Caiwen ^{[1
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Tracy, Bryan ^{[1
]}

Li, Susan ^{[1
]}

机构：

[1] Spansion Inc, Sunnyvale, CA 94085 USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1017/S1431927609092952

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：360 / 361

页数：2