Proceedings of the International Conference on Micro- and Nanofabrication - September 22-25, 1996 - Glasgow, Scotland, UK - Preface

被引：0

作者：

Wilkinson, CDW

Beaumont, SP

机构：

来源：

MICROELECTRONIC ENGINEERING | 1997年 / 35卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

10.1016/S0167-9317(97)87390-X

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：R7 / R8

页数：2

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