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The use of CCD' arrays versus PSD' detectors in an optical triangulation based microtopographer
被引：6
作者：
Costa, MFM
[1
]
机构：
[1] UNIV MINHO,DEPT FIS,P-4709 BRAGA,PORTUGAL
来源：
OPTICAL INSPECTION AND MICROMEASUREMENTS
|
1996年
/
2782卷
关键词：
D O I：
10.1117/12.250813
中图分类号：
O43 [光学];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
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页数：8
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