Annealing effect of Cd+ ion-implanted liquid encapsulated Czochralski-GaAs

被引：0

作者：

Kawasumi, Y ^{[1
]}

Makita, Y ^{[1
]}

Kimura, S ^{[1
]}

Iida, T ^{[1
]}

Kotani, M ^{[1
]}

Obara, A ^{[1
]}

Shibata, H ^{[1
]}

Kobayashi, N ^{[1
]}

Tsukamoto, T ^{[1
]}

Kobayashi, E ^{[1
]}

机构：

[1] ELECTROTECH LAB,TSUKUBA,IBARAKI 305,JAPAN

来源：

ION-SOLID INTERACTIONS FOR MATERIALS MODIFICATION AND PROCESSING | 1996年 / 396卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：841 / 846

页数：6