Hybrid plasma chemical vapour deposition of aluminium nitride from Al and NH3/N-2 mixtures

被引：0

作者：

Ahmed, W ^{[1
]}

Tither, D ^{[1
]}

机构：

[1] BEP GRINDING LTD, MANCHESTER M26 9XT, LANCS, ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1023/A:1018575201754

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：412 / 415

页数：4

共 13 条

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