A metrological scanning force microscope (vol 19, pg 46, 1996)

被引：0
作者：
Xu, Y
Smith, ST
Atherton, PD
机构：
来源：
PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING | 1997年 / 20卷 / 01期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
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共 1 条
  • [1] A metrological scanning force microscope
    Xu, Y
    Smith, ST
    Atherton, PD
    [J]. PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE AMERICAN SOCIETY FOR PRECISION ENGINEERING, 1996, 19 (01): : 46 - 55
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